반도체 생산성 개선의 숨은 조력자

전공정 Fab 내 AMHS의 핵심으로 FOUP 물류를 최적화하는 클린컨베이어시스템과 FOUP 내부에 질소를 주입하는 질소퍼지시스템을 공급한다. 클린컨베이어시스템은 OHT와 병행 시 물류 병목을 제거해 반송량을 3배 높일 수 있다. 질소퍼지시스템은 FOUP 내부의 산소 농도와 습도를 낮춰 웨이퍼 산화를 방지하고 수율 개선으로 생산성 향상에 기여한다. 기존 Fab 중심으로 도입 논의가 확대되며, 기존 설비에 교체 없이 질소 주입이 가능하도록 S-Stock Data Plate 추가 방식으로 설치가 가능하다고 한다. 27년부터 본격적인 실적 기여가 기대된다.

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• - FOUP 물류를 최적화하는 클린컨베이어시스템과 FOUP 내부에 질소를 주입하는 질소퍼지시스템으로 물류 병목을 제거하고 반송량이 3배 증가할 수 있다.
• - 질소퍼지시스템은 FOUP 내부의 산소 농도와 습도를 낮춰 웨이퍼의 산화를 방지하고 수율 개선으로 생산성 향상에 기여한다.
• - 기존 Fab 설비에 교체 없이 질소 주입이 가능하도록 S-Stock Data Plate를 추가하는 방식으로 설치가 빠르고 비용 절감이 가능하다는 장점이 있다.
• - FAB 초기 라인 구축 후 추가 생산라인으로의 재확대 수요가 증가하면서 수주 논의가 빠르게 확산되고 있다.
• - 26F 매출액 322억원(+40.1% YoY), 영업이익 93억원(+45.8% YoY) 및 27F 매출액 487억원(+51.4% YoY), 영업이익 141억원(+51.5% YoY) 등의 가시적인 매출·이익 증가가 기대된다.